あの見えなかったものが ここまで見える！
４K モニタ＆メガピクセル X線検出器搭載
メーカー
東芝ITコントロールシステム株式会社
特徴
- 高分解能 – ナノフォーカスＸ線発生装置搭載 / 高精細Ｘ線イメージインテンシファイア
- 高解像度 – 4メガピクセルカメラ搭載
- 高画質 – 4Kモニタ採用
- 傾斜・回転時の視野中心自動追従
- ラミノCT (斜めCT) 搭載
- 直交CT搭載可能 (オプション)
用途
高密度実装基板、各種電子部品 等
CT機能オプション
- CT機能/ 直行CT（コーンビームCT)
- 仕様/直行CTユニット（試料テーブル交換方式）
画像解析・計測機能
| 計測機能 |
濡れ性、ワイヤ流れ、2点間寸法 ボイド計測、BGAボイド率測定 |
|---|---|
| 解析機能 | 疑似から―、プロフィール、ヒストグラム、三次元表示 |
仕様
| モデル | TXLamino |
|---|---|
| Ｘ線発生装置 | 透過解放型 |
| 管電圧 / 管電流設定（最大） | 160kＶ/200μＡ |
| Ｘ線焦点寸法 | 0.25μm |
| Ｘ線センサ | 高精細Ｘ線I.I.(4/2ｲﾝﾁ）*2 |
| カメラ有効画素数 | 400万画素 |
| カメラ出力諧調 | 16bit |
| Ｘ線幾何学倍率 | 2000倍（理論値） |
| 機構部 | 6軸傾斜・回転型 |
| 試料テーブルX / Yストローク | 300mm×300mm |
| 試料テーブル回転ストローク | 0°～360°（水平回転） |
| Ｘ線ディテクタ傾斜ストローク | 0°～60° |
| 視野追従機能 | 傾斜・回転時の視野中心自動追従機能 |
| ラミノCT（斜めCT） | CTデータ収集（任意傾斜角度） |
| 寸法 |
検査室：約W1600×D1600×H2000mm 操作卓：約W1600×D800×H(天板上面)750mm |
| 漏洩線量 | １μＳv/h以下 |
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